设备参数 | |
箱体 | SUS304焊接,标准尺寸:1220*（650-750）*900(可非标定制) |
过渡腔 | 大，小二个过渡腔，内部均带有滑盘 大腔尺寸：350mm*600mm； 小腔尺寸：150mm*300mm； |
真空系统 | 品牌:Edwards,型号RV12,旋片式真空泵; 真空度可达3x10-2mbar,抽速12m3/h; |
循环净化系统: | 单柱水氧净化系统，集成有循环泵。 净化器自动再生，PLC控制；管道：304不锈钢 可得气体纯度：水<1ppm,氧<1ppm， |
标配手套 | 4个手套孔圈，圆形，直径220mm； 手套（溴丁基橡胶材质，0.4mm厚，大号）； 二个用于操作蒸镀仪,二个用于手套箱 |
水探头 | 水探头：1件,检测范围，0-500ppm； 专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，PLC集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上， 探头感测功能材质铂金和陶瓷纤维，灵敏度10mv/ppm，精确度0.1ppm，专为手 套箱气氛设计，耐腐蚀，是有寿命可达5年以上；可提供探头精准度检测报告。 |
氧探头 | 氧探头：1件,检测范围，0-1000ppm； 专为手套箱气氛设计，耐腐蚀PLC集成控制，专为手套箱气氛设计，耐腐蚀PLC 集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，探头感测功能材质氧化锆，灵敏 度10mv/ppm，精确度0.1ppm，专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，是有寿命可达 5年以上；可提供探头精准度检测报告。 |
控制系统 | PLC自动控制，操作面板：彩色触摸屏，自动调节箱体压力，可使箱体工作压 力在+/-15m bar范围内变化。 |
4箱体漏率 | 箱体泄漏率：<0.05vol%/h |
