聚焦离子束（FIB）

型号及主要参数：

厂家：FEI（美国）

型号：FEI-Scios 2 Hivac

主要参数：

离子束分辨小于3nm@30KV

电子束分辨率：workspace<1nm@15KV，workspace<1.6nm@15KV

样品XY方向移动范围不低于110nm，Z方向不低于60 nm，可绕Z轴旋转任（360°）

意角度倾斜角度T范围不小于-15到90°

用途及功能：

扫描电镜主要用于观察、分析、记录样品的微观形貌，

聚焦离子束用于样品微纳米尺度下的切割、表面修饰、TEM制样

刻蚀能谱仪主要用于样品元素分析

特点：

离子束与电子束双束，实现聚焦离子束FIB切割与SEM形貌同步观察

扫描电子显微镜（SEM)

型号及主要参数

厂家：ZEISS（德国）

型号：GEMINI 300

主要参数：

分辨率：0.7 nm@15 KV，1.2nm @15 KV

放大倍率：12x-2000000x

加速电压：0.2-30kV

五轴样品台：130 mm (X方向), 130 mm (Y方向), 50 mm (Z方向),-4°-70° (倾斜)，360° (旋转)

用途及功能：

扫描电镜主要用于观察、分析、记录样品的微观形貌，

能谱仪主要用于样品元素分析

特点：

高分辨表面形貌成像

型号及主要参数

厂家：thermofisher（美国）

型号：ESCALAB Xi+

主要参数：

XPS能量分辨率≤0.43 eV

灵敏度: 大面积XPS,  Ag3d_5/2(FWHM≤1.0 eV)强度大于10⁶CPS

角分辨ARXPS分析

紫外光电子能谱（UPS）

用途及功能：

用于粉末、薄膜、块状等各种有机无机材料的表面几个原子层（1-10 nm）的化学组成、价态的深度剖析、成像分析及功函数分析与表征。

特点：

高分辨XPS，UPS

X射线衍射仪(XRD)

型号及主要参数

厂家：Bruker（德国）

型号：D8 ADVANCE

主要参数：

X射线光管：Cu靶陶瓷X光管，功率2.2 KW

扫描方式：立式θ/θ测角仪

转动范围：-10°-168°，最小步长：0.0001°

能量色散阵列探测器

用途及功能：

物相定性定量分析

微光结构分析（微晶尺寸、微观应力）

粉末数据结构与结构精修

小角度X射线散射

特点：

整列探测器，可测试小角度XRD

原子力显微镜（AFM）

型号及主要参数

厂家：Bruker（德国）

型号：Dimension ICON

主要参数：

XY方向扫描范围90μm x 90μm，

垂直方向扫描范围10μm，

样品尺寸可达直径210mm，厚度15mm

用途及功能：

表面形貌、粗糙度、相图测试

力曲线等力学性质测试

电学性质如静电力显微镜（EFM）、开尔文探针力显微镜（KPFM）、压电力显微镜（PFM）、导电原子力显微镜测试（C-AFM）

特点：

高分辨形貌成像、电学性能测试模块如EFM、PFM、KPFM、C-AFM

 核磁共振谱仪（NMR)

型号及主要参数
厂家：Bruker（德国）
型号：AVANCE NEO 400MHz
主要参数：
射频频率范围：6-440MHz，频率分辨率≤0.005Hz
灵敏度：1H≥500:1，13C≥220:1，15N≥25:1，31P≥150:1，19F≥500:1
可测C13DEPT，二维谱Cosy、Noesy、HMBC、HSQC

用途及功能：
主要应用于有机化合物分析与性能研究

特点：

Bruker全新谱仪，快速出核磁结果

                          激光共聚焦拉曼光谱仪（Raman)
               

型号及主要参数

厂家：Renishaw（英国）
型号：InVia Spectrometer
主要参数：
532 nm、785 nm波长激光器，激光光斑小于0.8 μm

拉曼频移范围：532 nm包含50cm-1-9000cm-1,785nm包含50 cm-1-4000 cm-1

灵敏度：不低于30:1，能观察到硅的三阶峰及四阶峰

光谱重复性：优于±0.02cm-1，可实现mapping功能

用途及功能：
主要应用于各种物质的分子组成、结构及相对含量分析，实现对物质的鉴别和定性研究

特点：

532 nm，785 nm双波长激光器，拉曼Mapping成像

联系方式：

联系电话: 0512-62316061，18962592662（殷老师）
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