1600度高温CVD(管式)炉:1 炉管直径:80MM,材料:氧化铝陶瓷(刚玉管);2 最高温度:1600度;控温精度:±5度;3 进气:四路MFC(质量流量计),流量0-200SCCM;4 抽气系统:旋片式真空泵,极限真空:6.7*10E-2Pa;5 气路均采用精密卫生级不锈钢制作;6 机架:工业铝型材搭建,外观简洁,美观;7 万向脚轮:可任意移动至任何位置;
