江苏集萃光电检测中心(以下简称“招标人”)应业务需要,对《低损伤溅射设备进行公开招标,欢迎合格的供应商参加投标。
现将相关事项公告如下:
一、项目名称及编号:
1、项目名称:低损伤溅射设备
2、招标编号:JSJC20200925-1
二、招标范围:
低损伤溅射设备 数量:1台
设备参数要求见附表一
三、投标人资格要求:
参见《江苏集萃光电检测中心招标采购仪器设备投标人须知》
四、招标报名时间:
招标报名截止时间:2020年10月25日17:00
招标报名方式可分为:现场报名或邮件报名
报名联系人:倪 先生
报名地址:江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼
联系电话:0512 62316052
邮箱:jsjc_cgxz@jitriioo.com
报名须填写供应商信息表,详见附表二
五、投标时间
投标截止时间:2020年10月25日17:00
投标联系人:倪 先生
投标地址:江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼
联系电话:0512 62316052
投标截止前如有任何技术问题,请联系:
技术联系人:王先生
邮箱:wangb@jitriioo.com
附表一:设备参数要求
主要技术性能指标和配置要求
系统的主要配置以及技术规格要求如下: 一、 设备主要构成部分: 1、 镀膜腔室:含独立真空系统; 2、 Buffer腔室:含独立真空系统&机械手,与现有蒸镀腔室实现对接; 3、 操作软件; 4、 不需要对位系统和Mask stocker; 5、 设备整体要求设计合理,技术先进,保证系统具备良好的动力学性能,控制系统选用的元器件应精度高,可靠性好,响应快,维修方便,配置美观,结构紧凑,性能稳定; 6、 系统所有零、部件和各种仪表的计量单位应全部采用国际单位(SI)标准; 7、 系统及主要组成部分由原产地设计制造,禁止转包,除非得到买方的书面同意; 二、 镀膜&buffer腔室共通配置要求 (一)腔室 1、 配备view port,随时清晰确认基板及机械手等状况; 2、 配备激光附件感应基板位置; 3、 腔室预留2个接口,检漏仪等特殊用途; 4、 O-ring材质要求:耐腐蚀全氟材质; 5、 配备内衬板2套(一用一备); 6、 内衬板材质:SUS304; 7、 腔室PM时长:>120 h(设备工作时间); (二)真空系统 1、 pump配置:干泵+冷泵; 2、 极限真空:<1×10-4 Pa; 3、 预留manual valve,异常情况时手动破真空; 4、 Pump管道口配备滤网; 5、 配备低真空压力计×1和高真空压力计×1; 三、 镀膜腔室 2、 单次溅射wafer数量:1; 3、 溅射源数量:1; 4、 溅射靶材可选:ITO、IZO、Ag等; 5、 靶材利用率:>40%; 6、 气体管路:(1)Ar;(2)O2;(3)N2;(4)备用;(5)备用; 7、 最大气体流量:500 sccm; 8、 机械对位精度:<200 μm; 9、 Power supply≥1.5 kW; 10、 配备靶材2套(一用一备); 11、 可实现全自动溅射成膜; 四、 传送系统 1、 机械手承重:>4 kg(wafer和mask、frame); 2、 机械手传送故障率:<0.01% 3、 XYZ轴移动行程:可完成wafer取放动作; 4、 XYZ传送精度:100 μm; 5、 传送时wafer朝向:wafer face down; 6、 传送过程中wafer无脏污、划伤、破损; 7、 蒸镀设备机械手端口开放,需求低损溅射设备可控制蒸镀设备机械手; 五、 膜层参数 1、 有效区域面积:200 mm×200 mm; 2、 膜层厚度精度:<±3%; 3、 膜层厚度均一性:>97%(25点均一性); 4、 膜层粗糙度:<2 nm; 5、 方阻:<80 Ω/square; 6、 透过率(1500 A): @450 nm>90%,@550 nm>90%,@610 nm>90%; 7、 各项参数片内均一性:>97%; 8、 各项参数片间均一性:>97%; 9、 镀膜后>3 μm particle数量:<1; 10、 镀膜后<3 μm particle数量:<3; 六、 镀膜工艺 1、 OLED with protecting layer镀膜后,实现低损伤溅射,器件点亮无黑点,电压正常,寿命正常; 2、 基底尺寸:8 inch×0.7 mm; 3、 沉积速率:0 A/s -4 A/s可控; 4、 速率控制精度:0.01 A/s; 5、 基底温度:<85℃; 6、 膜层沉积时wafer朝向:wafer face down; 7、 工艺过程中wafer无脏污、划伤、破损; 8、 携带mask镀膜; 七、 操作软件 1、 显示界面:压力、状态、process等必要参数; 2、 Recipe数量:>100; 3、 可捞取Log数据; 4、 可实现逆方向传片; 5、 配备紧急停止功能; 6、 配备异常报警功能; 7、 软件系统语言:简体中文&英文; 八、 安全 1、 配备主电源过载保护; 2、 配备过热继电器断电保护; 3、 配备紧急情况报警装置; 4、 配备设备急停按钮; 九、 培训&售后服务 2、 厂商人员负责对现场工程师及技术员进行设备运行、维修、保养等方面的培训,保证现场工程师和技术员可以独立完成设备操作、调试、保养,具备在厂商技术人员指导下对设备进行维修的能力; 3、 卖方负责向买方提供自验收之日起12个月的免费保修服务,在免费保修期内免费提供零件,软件部分配合需求免费升级,服务应及时有效。设备故障时,在接到用户故障信息后要求30分钟内响应,24h内到现场,非人为引起的部件损坏应由卖方免费提供更换; 4、 设备免费保修期满之后,在设备使用寿命期内,卖方应保证提供广泛而优惠的技术支持及备件供应; |
附表二:供应商信息收集表
供应商类型: 分销商(Distributor)□; 制造商(Manufacturer)□; 两者都是(Both)□; | ||||
公司名称/简称(Name of Company /Brief Name):
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地址(Address):
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电话 (Tel) | 传真 (Fax) | 电子邮件 (E-mail) | ||
产品介绍:产品名称、产地、产量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)
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交货地点方式 币种 支付条款 (Delivery Place) (Currency) (Payment Terms) | ||||
银行信息 (Bank Information) | 银行名称 (Bank Name) | |||
银行地址 (Bank Address) | ||||
账号 (Account) | ||||
会计号码 (Swift code) | ||||
收款单位名称 (Payee ) | ||||
发票信息 (Invoice Information) | 发票类型 □13%增值税发票(VAT) □6%增值税发票(VAT) (Type of Invoice) □3%增值税发票(VAT) □普通发票(General) | |||
| 税号 (Tax Account) | |||
业务联系人(Contact Person)
| 业务联系人英文名称:(English Name of Contact Person)
| 性别(Gender) | 电话(Tel) | |
财务联系人 (Fin Person) | 性别 (Gender) | 传真 (Fax) | ||
1、上述内容签字盖章才有效;No effect without your signature and stamp. 2、其真实性有法律效应;All the information has legality. |
详见https://www.chinabidding.com