招标公告
江苏集萃有机光电技术研究所有限公司（以下简称“招标人”）应业务需要，对《EUV自动投放料清洗机》进行公开招标，欢迎合格的供应商参加投标。
现将相关事项公告如下：
一、项目名称及编号：
1、项目名称：EUV自动投放料清洗机
2、招标编号：JSJC20200217-1
二、招标范围：
EUV自动投放料清洗机 数量:1套
设备参数要求见附表一
三、投标人资格要求：
参见《江苏集萃有机光电研究所有限公司招标采购仪器设备投标人须知》
四、招标报名时间:
招标报名截止时间：2020年03月02日17：00
招标报名方式可分为：现场报名或邮件报名
报名联系人：倪敏浩
报名地址：江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼
联系电话：0512 62316052
邮箱：jsjc_cgxz@jitriioo.com
报名须填写供应商信息表，详见附表二
五、投标时间
投标截止时间：2020年03月02日17：00
投标联系人：倪敏浩
投标地址：江苏省苏州市吴江区汾湖大道1198号办公楼2楼
联系电话：0512 62316052
投标截止前如有任何技术问题，请联系：
技术联系人：王先生
邮箱：wanglei@jitriioo.com
附表一：设备参数要求
一、基本信息
仪器设备名称 | EUV自动投放料清洗机 |
二、主要技术性能指标和配置要求
1.EUV清洗机设备共通规格 l 设备组成：包括UV灯管、灯箱、点灯电源、传送机构、自动上料机构、PLC控制显示操作系统等 2. EUV清洗机设备主体规格要求 l EUV主体规格：因安装环境小，设备尺寸长、宽不得大于2400×1500mm2 l 灯箱单元：重量：≤115KG，外板： SUS304硬质不锈钢板，冷却方法： 空气冷却。 l 点灯电源：外形尺寸：≤570（W）*762（D）*600（H）（MM）。重量：≤80KG。外板：不锈钢板。冷却方法：强制空冷 l 光出特性：有效照射幅度：370mm*470mm。中心波长：172nm。半峰宽：14nm。放射发散度：≥170mW/㎝2。放射发散均一性：≤±15%。 l 电气：电源：AC22V或者220V（50/60Hz）,电压容变量±10%，最大4.5KVA。接地电源：接地阻抗10Ω以下。氮气：流量320-380（NL/min）。温度：10-30℃。压力：0.4-0.6Mpa。CDA温度：10-30℃。压力：0.4-0.6Mpa。露点：-40℃ l 排气方式：有机排气，排气量：0-20（m3/min），O3环境含量≤0.1ppa l 测试方法：点灯条件：连续点灯30分钟以上。测试工具：紫外线计算光量计。测定方式：计量器标准测试方式测试. l 传送部分：驱动电机：直流调速电机。传送方式：斜齿轮。速度：1000-4000（mm/min）可调节。基板检测：光电传感器。轴棒材质：不锈钢。传送轮材质：PVDF。离子棒：入料口1根，出料口1根。 l 自动上料机构：使用20格防静电CST逐片依次投入，篮子轻便方便搬运。 3.安全功能 l 紧急停止开关：按钮及排布形状按照厂商标准； l 暂停开关：当按下暂停开关后， 机械动作停止，并且报警； l 安全对策： l 设备有事故防止或装置保护的各种异常检出机构，异常检出时，蜂鸣器响起，同时在显示器上表示出异常内容 l 警告标签：在所有危险位置标记；使用中文或英语；（包括腐蚀性警告标签，有毒警告标签，烫伤警告标签，机械性损伤警告标签等） l EMO(EMS)：每个单元须有一个或以上的 EMO（ EMS）按钮， 当任何一个按钮被按下，相关设备电源须关闭且由断路器关闭； 设备技术资料提供： l 设备厂商需提供设备操作使用手册、零部件清单、设备总图、部件装配图、电气接线图书面资料及电子资料各一套 设备安装时间： l 单台设备安装调试时间不应超过 20 日 验收标准： l 设备调试和验收应以相关的国际标准和规定及卖方投标文件中提供的技术参数为依据，按照买卖双方签字同意的预验收（ IAT）和最终验收（ FAT） 行业标准。 技术培训及服务： l 厂商人员负责从装机开始直至验收完毕的技术服务 l 厂商人员负责对现场工程师及技术员进行设备运行、维修、保养等方面的培训，保证现场工程师和技术员可以独立完成设备操作、调试、保养，具备在厂商技术人员指导下对设备进行维修的能力 l 装机后再免费开展（3梯次培训） 售后服务： l 设备保修期从设备验收签字起整机保修 12 个月 l 保修期内设备非人为原因损坏厂商须负责免费维修 l 保修期内叫修时限12小时到厂（不可抗力除外） l 现场工程师要求有不少于 3 年的相关工作经验 设备免费保修期满之后，在设备使用寿命期内，卖方应保证提供广泛而优惠的技术支持及备件供应 |
附表二：供应商信息收集表
供应商类型： 分销商(Distributor)□； 制造商(Manufacturer)□; 两者都是(Both)□； | ||||
公司名称/简称(Name of Company /Brief Name)：
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地址(Address)：
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电话 (Tel) | 传真 (Fax) | 电子邮件 (E-mail) | ||
产品介绍：产品名称、产地、产量(Brief Introduction of Products: Name, Goods of Origin Turnout)
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交货地点方式 币种 支付条款 (Delivery Place) (Currency) (Payment Terms) | ||||
银行信息 (Bank Information) | 银行名称 (Bank Name) | |||
银行地址 (Bank Address) | ||||
账号 (Account) | ||||
会计号码 (Swift code) | ||||
收款单位名称 (Payee ) | ||||
发票信息 (Invoice Information) | 发票类型 □16%增值税发票(VAT) □6%增值税发票(VAT) (Type of Invoice) □4%增值税发票(VAT) □普通发票(General) | |||
| 税号 (Tax Account) | |||
业务联系人(Contact Person)
| 业务联系人英文名称：(English Name of Contact Person)
| 性别(Gender) | 电话(Tel) | |
财务联系人 (Fin Person) | 性别 (Gender) | 传真 (Fax) | ||
1、上述内容签字盖章才有效；No effect without your signature and stamp. 2、其真实性有法律效应；All the information has legality. | ||||
详情可见中国国际招标网
