型号及主要参数
厂家：Bruker（德国）
型号：DektakXT
主要参数：
最大扫描长度≥55mm
测试所允许的最大样品厚度≥50mm
垂直方向的扫描范围≥1000μm
测试高度方向的重复性≤0.4nm（1μm的标准台阶）
测试垂直分辨率≤0.1nm
用途及功能：
主要用于薄膜材料厚度测量。可获得精确定量的台阶高度，线粗糙度，薄膜曲率半径，应力测试，表面3D形貌等测试功能。
联系人: 殷老师
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